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场发射透射电子显微镜 检测服务中心面向集成电路、电子元器件、半导体、PCBA、LED、汽车电子、新材料等,为客户提供包括无损分析、失效分析、物理性能测试、微纳分析、可靠性与寿命评估、工艺制程等在内的技术解决方案。


场发射透射电子显微镜

型号:Tecnai G2 F20 S-Twin


厂家:美国FEI 公司

主要用途1.该电镜是一台功能强大的材料分析型电子显微镜,广泛应用于生物、医药、化工、金属、半导体材料、高分子材料、陶瓷、纳米材料等领域,可对材料的粒度、形貌、成分、内部结构和缺陷进行分析;
2.其配备的STEM/HAADF附件可以成和原子序数相关的像,和能谱仪结合还可以很方便的测量样品微区元素的线分布和面分布,对于高分辨像的解析非常有利
3.像素高达2K×2K的CCD可以及时将电子显微像转换成数字照片进行输出,极大的方便了用户。
主要配置1.Gatan 894 CCD(2K×2K)2.STEM/HAADF探测器
3.美国EDAX能谱仪4.低剂量曝光
5.单倾样品杆、双倾样品杆、低背景双倾样品杆
性能指标1.场发射电子枪2.加速电压:20-200 kV连续调节
3.放大倍数:25-1,000,0004.点分辨率:0.24nm
5.线分辨率:0.102nm;6.信息分辨率:≤0.14nm
7.STEM分辨率:0.20 nm8.STEM放大倍数:200-100,000,000
9.EDS分辨率:优于136 eV,分辨元素范围B5-U9210.最大样品倾角:±40°

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