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冷场发射扫描电子显微镜 检测服务中心面向集成电路、电子元器件、半导体、PCBA、LED、汽车电子、新材料等,为客户提供包括无损分析、失效分析、物理性能测试、微纳分析、可靠性与寿命评估、工艺制程等在内的技术解决方案。


冷场发射扫描电子显微镜

型号:S4800

厂家:日本Hitachi

主要用途:

该设备主要用于各种样品的高分辨表面形貌成像观察,点分辨率可达1 nm。同时该设备由于发射束流低并配备了减速装置,因此可以较大程度上减少样品在电子束轰击下的充电效应,适合于一些不导电样品和在电子束辐照下异损坏样品(有机、高分子、生物样品等)的表面高分辨成像。
主要配置:电子束减速装置
性能指标:1、二次电子图像分辨率

≤1.0nm保证(加速电压15kV WD = 4mm)

≤2.0nm 保证(加速电压1kV WD = 1.5mm,普通模式)

≤1.4nm 保证(照射电压1kV,WD = 1.5mm,使用减速装置)

放大倍率:20~800,000×

2、样品台

S-4800型

X       0-50 mm

Y       0-50 mm

Z       1.5-30 mm

T       -5°~ + 70°

R      360°

最大样品尺寸(直径)       100mm

样品台控制        五轴马达驱动

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