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钨灯丝扫描电子显微镜 检测服务中心面向集成电路、电子元器件、半导体、PCBA、LED、汽车电子、新材料等,为客户提供包括无损分析、失效分析、物理性能测试、微纳分析、可靠性与寿命评估、工艺制程等在内的技术解决方案。


钨灯丝扫描电子显微镜

型号Inspect S


厂家:美国FEI

主要用途在高真空、低真空环境对样品各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。
性能指标1.加速电压:200V-30 kV2.放大倍数:7-1,000,000
3.可在高真空、低真空(270Pa) 下观察样品
样品室284mm
分辨率

高真空 - 3.0nm at 30kV (SE)

       - 4.0nm at 30kV (BSE)

       - 10.0nm at 3kV (SE

低真空 - 3.0nm at 30kV (SE)

       - 12.0nm at 3kV (SE)

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